改善多步法谐波抑制的新方法--鉴相法

• 作者: 杨文国 谭久彬 赵维谦
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 误差分离技术 鉴相法 圆轮廓 纳米级测量
• 年，卷（期）: 2001,（z1）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 161-162
• 页数: 3页
• 分类号: TH161.5
• 字数: 1830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2001.z1.058

摘要

分析了回转基准中存在的问题和多步法误差分离技术的原理误差,提出鉴相法误差分离技术.该技术较显著地扩展了无谐波抑制范围,且使测量过程和测量系统大为简化,是建立纳米精度回转基准的一种较理想方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬		140	2284	28.0	42.0
2	杨文国		8	105	5.0	8.0
3	赵维谦		17	254	8.0	15.0