ITO/SiO2双膜系溅射用中频电源的报警装置

• 作者: 吕明泽 朱永迁
• 来源期刊: 中国玻璃
• 关键词: 中频电源 SiO2镀膜 ITO 镀膜
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 36-37
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

本文详细地叙述了ITO/SiO2双膜系溅射用中频电源(以下简称为PEⅡ)的报警电路设计的思路、工作原理及其对整个ITO镀膜工艺的重要贡献.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕明泽		1	0	0.0	0.0
2	朱永迁		1	0	0.0	0.0