CMOS兼容湿度传感器的研究进展

• 作者: 严先蔚 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS兼容 湿度传感器
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 48-54
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2001.01.008

摘要

本文主要介绍几种与CMOS工艺兼容的湿度传感器的结构、工艺、特点以及处理电路，并对湿度传感器的发展趋势作了探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦明	东南大学微电子中心	10	99	6.0	9.0
2	黄庆安	东南大学微电子中心	35	415	12.0	19.0
3	严先蔚	东南大学微电子中心	1	9	1.0	1.0