宽气压范围内裂缝天线等离子体特性研究

• 作者: 吴丛凤 温晓辉 詹如娟 黄卫东
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 裂缝天线 宽气压 微波等离子体 表面波 涡动
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 319-321
• 页数: 3页
• 分类号: O53
• 字数: 1687字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.04.014

摘要

给出了气压为10～28000 Pa时,环形倾斜裂缝天线等离子体源的放电特性.实验表明,该源在气压为10～2600 Pa范围内是大体积表面波放电,并且在气压为10和230 Pa时清楚地观察到裂缝天线附近石英管内的等离子体有较明显的8个瓣和12个瓣(表面波模式可确定为m=4和m=6);当气压升高到4000～6000 Pa时,在石英管的底端和不锈钢真空室交界处激励起直径约为12 cm的高密度等离子体椭球(1011cm-3量级);在气压为11000～14000 Pa时,发现等离子体有明显的涡动现象;而当气压上升到20000 Pa以上,等离子体有丝状结构出现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄卫东		35	335	12.0	17.0
2	詹如娟	中国科学技术大学近代物理系	17	150	7.0	12.0
3	吴丛凤		16	26	3.0	4.0
4	温晓辉	中国科学技术大学近代物理系	8	34	4.0	5.0