真空感应气相沉积炉控制系统

• 作者: 王保东
• 来源期刊: 工业加热
• 学科: 工学
• 关键词: 气相沉积 计算机控制 真空感应炉
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: TP273|TM924.6
• 字数: 3076字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1639.2001.03.019

摘要

介绍了真空感应化学气相沉积炉控制系统的组成和功能,计算机监控系统的硬件结构，以及应用软件的功能。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王保东		1	0	0.0	0.0