MEMS光开关及主要工艺技术的研究

• 作者: 张毅 罗元 黄尚廉
• 来源期刊: 激光杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 全光网络 MEMS
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TN2
• 字数: 2233字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2743.2001.06.004

摘要

光开关是实现全光网络的核心技术之一,目前光开关采用的主要技术方案有MEMS、铁电液晶、气泡、热光、全息、声光、热毛细管等,其中MEMS光开关因具有体积小、集成度高、能大规模生产等优点成为光开关研究的关键之一.本文对MEMS光开关的类型、特点及研究现状进行介绍,并重点对MEMS光开关涉及的工艺技术进行研究,认为工艺问题是MEMS光开关研究成败的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗元	重庆大学光电工程学院	192	1681	17.0	31.0
3	张毅		281	2390	21.0	36.0
4	黄尚廉	重庆大学光电工程学院	164	3610	34.0	51.0