提高系统真空度的方法

• 作者: 刘汉林 刘立宁
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 污染 电磁阀
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 经验介绍
• 页码范围: 45-46
• 页数: 2页
• 分类号: TB753
• 字数: 2548字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.02.011

摘要

本文叙述了真空系统中水蒸汽和油污染的来源和防止措施，并提出在开机和停机过程中尤其是突然停电时大气和油蒸汽通过抽气管道返回真空室问题的解决方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘立宁		1	3	1.0	1.0
2	刘汉林		1	3	1.0	1.0