无氧铜基金刚石薄膜场致发射特性研究

• 作者: 季天仁 曾葆青 杨中海 杨崇峰 谢扩军 黄金源
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 场致发射 金刚石薄膜 真空微电子学 冷阴极
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.01.016

摘要

采用微波等离子体方法在铜片上沉积了多晶金刚石薄膜，用该薄膜制成的场致发射体的开启电压较低，发射电流密度较高。利用自制的场致发射阵列阴极高真空测试台测试了1～100 mA／cm2的发射电流密度特性，对应的电场强度为2.0～3.5 MV／m。从拟合F-N公式得到的功函数Φ≈0.025 eV，所发射电子轰击荧光屏后能产生明亮的光斑。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨中海	电子科技大学高能电子学研究所	97	814	15.0	24.0
2	谢扩军	电子科技大学高能电子学研究所	25	218	7.0	14.0
3	曾葆青	电子科技大学高能电子学研究所	50	149	7.0	8.0
4	杨崇峰		3	13	2.0	3.0
5	季天仁	电子科技大学高能电子学研究所	2	8	1.0	2.0
6	黄金源	电子科技大学高能电子学研究所	2	12	2.0	2.0