变栅距衍射光栅的原理及应用

• 作者: 时轮 郝德阜
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 变栅距 衍射光栅 像差校正 应用
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 284-287
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2787字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.03.019

摘要

变栅距衍射光栅(VLS)在像差校正等方面具有突出优点,采用不同的栅距变化规律的变栅距光栅具有不同的光谱特性,因而在众多的高技术领域获得了广泛应用.本文从VLS的像差校正原理出发,较全面地阐述了VLS在真空紫外和软X射线、高分辨率光电探测器、表面干涉计量以及光纤通讯等领域的应用,并针对其技术特点指出了它的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	时轮	吉林工学院机电学院	3	108	3.0	3.0
2	郝德阜	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	194	7.0	7.0