材料磨损与微电子机械系统中的磨损现象

• 作者: 周承恩 洪友士 谢季佳 邓忠民
• 来源期刊: 机械强度
• 学科: 工学
• 关键词: 磨损 微电子机械系统 研究现状
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微摩擦磨损与可靠性
• 页码范围: 511-515
• 页数: 5页
• 分类号: TH11
• 字数: 4491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.025

摘要

磨损是材料和机械失效的主要原因之一.本文介绍了近年来材料磨损性能研究的进展,磨损的几种破坏机制以及相应的磨损理论模型,并介绍了MEMS中磨损研究的现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢季佳	中国科学院力学研究所	15	159	6.0	12.0
2	洪友士	中国科学院力学研究所	49	651	16.0	24.0
3	邓忠民	中国科学院力学研究所	3	21	2.0	3.0
4	周承恩	中国科学院力学研究所	4	173	3.0	4.0