一种新型的紫外光源--准分子紫外灯

• 作者: 任兆杏 徐金洲 梁荣庆
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子灯 非相干紫外或真空紫外辐射 介质阻挡放电 紫外或真空紫外辐射效率
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 298-302
• 页数: 5页
• 分类号: O434.2|TM923.322
• 字数: 3156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.04.010

摘要

非相干性紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术.本文着重介绍一种使用介质阻挡放电激发紫外或真空紫外辐射的新型光源--准分子紫外灯,包括准分子的形成以及光源的紫外辐射效率.最后,对影响准分子辐射的因素如气压、气体组成、温度及电源频率和电压进行了初步的分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁荣庆	中国科学院等离子体物理研究所	14	119	7.0	10.0
2	任兆杏	中国科学院等离子体物理研究所	20	209	9.0	14.0
3	徐金洲	中国科学院等离子体物理研究所	3	44	3.0	3.0