全离子注入锗光电晶体管的研制

• 作者: 于理科 姬成周 李国辉 杜树成
• 来源期刊: 北京师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 锗 光电探测器 离子注入
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 356-358
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3|TN31|TN32
• 字数: 1312字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0476-0301.2001.03.015

摘要

采用锗材料研制出了工作在1.55μm波长的全离子注入光电晶体管.选用(120keV,2.5×1012cm-2)+(260keV,5×1012cm-2)的硼注入和160keV,5×1014cm-2磷注入,650℃15s快速退火;采用聚酰亚胺作为钝化膜以及台面结构.NPNGe光电三极管的hFE＝40～180.在波长为1.55μm、功率为0.7μW的光照下得到了40A*W-1的响应度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姬成周	北京师范大学低能核物理研究所	10	28	3.0	5.0
2	李国辉	北京师范大学低能核物理研究所	12	13	2.0	3.0
3	杜树成	北京师范大学低能核物理研究所	7	10	2.0	3.0
4	于理科	北京师范大学低能核物理研究所	3	1	1.0	1.0