MEMS射频与微波应用技术新进展

• 作者: 傅佳辉 吴群
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微波 射频 集成电路 无线通信
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 318-325
• 页数: 8页
• 分类号: TN405
• 字数: 6066字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2001.04.010

摘要

微机电系统(Microelectromechanical system)代表了一项与集成电路制造工艺相同的新兴技术,在射频与微波领域得到广泛应用.无线通信发展的趋势是缩小系统尺寸、降低成本和功耗.本文综述了当前国际上MEMS技术的最新发展现状,对在射频与微波应用的各种MEMS器件关键技术进行了探讨.最后展望了未来的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅佳辉	哈尔滨工业大学电子与通信工程系	21	220	7.0	14.0
2	吴群	哈尔滨工业大学电子与通信工程系	77	471	10.0	16.0