LIGA—EDM复合技术的研究

• 作者: 伊福廷 张菊芳 张院春 彭良强 李勇 邹丽芸 韩勇
• 来源期刊: 北京同步辐射装置：英文版
• 学科: 工学
• 关键词: LIGA—EDM复合技术 微加工 光刻 电铸 塑铸 微机械 微细电火花加工 同步辐射
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 115-116
• 页数: 0页
• 分类号: TG661

摘要

提出LIGA-EDM复合技术技术，即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术，通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100，使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极，利用该电极进行微细电火花加工实验，在不锈钢上加工出异形小孔阵列．