溶胶 -凝胶法制备BST铁电薄膜及性能研究

• 作者: 张荣君 赵敏 陈铭南 顾豪爽
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 关键词: BST薄膜 溶胶-凝胶法 介电性能 漏电流
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 字数: 1894字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2001.01.019

摘要

研究了一种以水为溶剂的(Ba0.5Sr0.5)TiO3(即BST)液体源溶液,用Sol-Gel技术制备出BST薄膜.性能 测试结果表明,厚度为160nm700℃保温1h的(Ba0.5Sr0.5)TiO3薄膜具有较好 的结构、介电性能和漏电流性能: 在室温下,其为纯立方钙钛矿相,介电常数为225,介电损耗 为0.044,漏电流密度为8.0×10-8A/cm2.进一步研究发现,随着烧结温度的升高,漏 电流降低,薄膜导电遵从空间电荷限制电流模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈铭南	同济大学应用物理系	19	122	7.0	10.0
2	张荣君	复旦大学光科学与工程系	31	149	8.0	11.0
3	赵敏	同济大学应用物理系	34	202	8.0	12.0
4	顾豪爽		1	15	1.0	1.0