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带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器
微机电系统
加速度传感器
自检功能
静电驱动
侧壁扩散
绝缘工艺
介观压阻型硅锗加速度计研究
介观压阻效应
加速度计
灵敏度
双悬臂梁
压阻式硅微加速度传感器的结构设计与仿真
加速度传感器
灵敏度
固有频率
横向效应
灵敏度和偏移补偿的MEMS压阻式加速度传感器
MEMS
压阻式加速度传感器
补偿
灵敏度
动态范围
偏移估计误差
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究
来源期刊 仪表技术 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2001,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 50
页数 3页 分类号 TM93
字数 2454字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1006-2394.2001.01.018
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱目成 西南工学院机电及自动化工程系 8 79 4.0 8.0
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2004(1)
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2012(1)
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
仪表技术
月刊
1006-2394
31-1266/TH
大16开
上海市
4-351
1972
chi
出版文献量(篇)
4081
总下载数(次)
14
总被引数(次)
17317
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