一种新型的Pt-LaF3混合膜MISFET结构溶解氧传感器

• 作者: 李华伟 牛文成 谢建湘 那兴波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Pt-LaF3混合膜 MISFET结构 溶解氧传感器
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 85-90
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2001.02.001

摘要

基于碳糊成膜(carbon paste film forming)方法，我们研制了一种MISFET结构的Pt-LaF3混合膜全固态溶解氧传感器.对传感器的器件结构以及Pt-LaF3敏感膜的敏感机制和响应特性进行了分析，并实际测试了器件特性.给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线.实验结果表明，我们所提出的器件可以用于测量溶解氧含量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文成	南开大学信息技术科学学院微电子学系	48	515	11.0	21.0
2	李华伟	南开大学信息技术科学学院微电子学系	10	15	3.0	3.0
3	那兴波	南开大学信息技术科学学院微电子学系	7	20	3.0	3.0
4	谢建湘	南开大学信息技术科学学院微电子学系	4	13	3.0	3.0