双Fabry-Perot干涉纳米测量控制系统的设计

• 作者: 吴昭同 朱若谷 陈本永
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 Fabry-Perot干涉仪 模糊控制 数学模型
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 43-49
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3021字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2001.01.011

摘要

设计了一种基于双Fabry-Perot干涉仪的新型纳米测量系统，阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点，详细设计了基于模糊控制理论的控制系统，提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米测量的理论依据及实测方法。在此基础上，对系统进行了仿真实验，实验结果充分证明了系统设计及理论依据的正确性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴昭同	浙江大学机械系精密测量教研室	177	4029	36.0	52.0
2	朱若谷	中国计量学院计测系精密仪器教研室	17	128	7.0	11.0
3	陈本永	浙江大学机械系精密测量教研室	7	53	5.0	7.0