各向异性腐蚀技术研究与分析

• 作者: 刘兴辉 吕品 吴春瑜 姚朋军 杨学昌 沈桂芬 高嵩
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 各向异性腐蚀 硅杯 自致停止技术
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 页码范围: 140-146
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4567字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2001.02.012

摘要

本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法，根据实验提出了它们的优缺点，介绍了几种各向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法，对制造微量程、高灵敏度的压力传感器有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈桂芬	辽宁大学物理系	15	136	6.0	11.0
2	姚朋军	辽宁大学物理系	10	109	6.0	10.0
3	吕品	辽宁大学物理系	24	113	6.0	10.0
4	吴春瑜	辽宁大学物理系	56	150	6.0	9.0
5	高嵩	辽宁大学物理系	16	117	6.0	10.0
6	刘兴辉	辽宁大学物理系	36	128	6.0	10.0
7	杨学昌	辽宁大学物理系	2	35	2.0	2.0