氢稀释制备的非晶碳膜的绿光和蓝光发射

• 作者: 徐骏 李伟 王立 陈坤基 黄晓辉
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氢稀释 非晶碳 光致发光
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 334-338
• 页数: 5页
• 分类号: O484.41
• 字数: 3714字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2001.04.005

摘要

在电容耦合式PECVD系统中,以CH4和H2为气源,通过控制H2的流量制备了一系列氢化非晶碳膜(a-C:H)样品.利用傅里叶变换红外光谱(FTIR)、光致发光谱(PL)和吸收谱对a-C:H膜的结构及光学性质进行了研究.结果表明:氢稀释可以在一定程度上减少碳的sp2团簇的形成,增大它的光学带隙,并改变薄膜的微结构.与此同时,光致发光峰随着光学带隙的增大而蓝移;当光学带隙增大2.72eV时,出现了2.4eV(绿光)和2.97eV(蓝光)组成的发光峰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄晓辉	南京大学物理系	3	1	1.0	1.0
2	徐骏	南京大学物理系	22	38	3.0	4.0
3	李伟	南京大学物理系	61	167	6.0	10.0
4	王立	南京大学物理系	5	20	2.0	4.0
5	陈坤基	南京大学物理系	31	53	5.0	6.0