脱除氢气流中AsH3和PH3的专用浸渍活性炭及滤毒罐

• 作者: 袁存乔 谢自立 郭坤敏 马兰
• 来源期刊: 新型炭材料
• 学科: 工学
• 关键词: 活性炭 AsH3 PH3
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TQ424.1
• 字数: 275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-8827.2001.02.012

摘要

在半导体领域的金属有机物化学气相沉积（MOCVD）过程中，排出含有剧毒AsH3和PH3的氢气，必须经过治理达标才能放空。为此，在从瑞典引进的MOCVD装置VP50-RP中，配套使用了德国Drager B3P3滤毒罐。研制出一种新型四元浸渍活性炭及滤毒罐，其在同等条件下对氢气流中AsH3和PH3的脱除能力为Drager B3P3罐的2倍～3倍。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢自立		18	126	6.0	11.0
2	郭坤敏		13	303	6.0	13.0
3	马兰		5	34	3.0	5.0
4	袁存乔		1	3	1.0	1.0