低温制备高质量多晶硅薄膜技术及其应用

• 作者: 余楚迎 姚若河 林揆训 林璇英 黄创君
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 固相晶化 非晶硅氢合金薄膜 薄膜硅太阳能 电池
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 561-563
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055|TN304.1
• 字数: 3952字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2001.06.001

摘要

多晶硅薄膜是集晶体硅材料和非晶硅氢合金薄膜优点于一体,在能源科学、信息科学的微电子技术中有广泛应用的一种新型功能材料.本文综述低温(＜600℃)制备高质量多晶硅薄膜技术的研究进展及其应用,着重讨论用等离子体化学气相沉积(PECVD)硅基薄膜固相晶化制备多晶硅技术及其在薄膜硅太阳能电池上的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林璇英	汕头大学物理系	40	400	10.0	18.0
2	林揆训	汕头大学物理系	29	339	9.0	18.0
3	余楚迎	汕头大学物理系	27	321	9.0	17.0
4	黄创君	汕头大学物理系	5	105	4.0	5.0
5	姚若河	汕头大学物理系	23	197	6.0	14.0