激光干涉仪数字测角的新方法及其应用

• 作者: 王贵甫 陈桂林 陈雨良
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 迈克耳孙干涉仪 激光 角度 测量
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.01.022

摘要

介绍了一种基于迈克耳孙干涉仪的精密角度测量系统,该系统利用迈克耳孙干涉仪在几何量测量中的干涉测量技术,通过转换将角位移转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线位移, 并通过相应电路对干涉条纹进行处理,从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比, 该系统具有结构简单、误差恒定、测量精度高、测角范围大、易于数字化等特点。同时,文章还对系统的构成原理、设计注意事项和精度等作了有关的理论分析。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈桂林	中国科学院上海技术物理研究所	89	626	14.0	18.0
2	王贵甫	中国科学院上海技术物理研究所	6	62	5.0	6.0
3	陈雨良	中国科学院上海技术物理研究所	7	79	5.0	7.0