溅射靶材的制备与应用

• 作者: 崔红玲 杨邦朝
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 靶材 薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 专家聚焦
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.03.003

摘要

在信息产业不少基础产品的制造过程中，需使用多种溅射靶材，本文简介溅射靶材的制造及主要应用情况。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨邦朝		253	3422	31.0	49.0
2	崔红玲		16	163	5.0	12.0