基于激光干涉仪的角度测量技术

• 作者: 王贵甫 陈桂林 陈雨良
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉仪 干涉 激光 角度 测量
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 37-39
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 3083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2001.01.014

摘要

介绍了一种基于激光干涉技术的精密角度测量系统，该系统利用干涉仪在几何量测量中的干涉测量技术，以激光作为干涉光源，迈克尔逊干涉仪作为干涉测量装置，通过角度转换装置将角度量转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线位移量，由此引起干涉条纹的变化，再通过相应电路对干涉条纹进行一系列处理，从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比，该系统具有结构简单、误差恒定、测量精度高、测角范围大、易于数字化等特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈桂林	中国科学院上海技术物理研究所	89	626	14.0	18.0
2	王贵甫	中国科学院上海技术物理研究所	6	62	5.0	6.0
3	陈雨良	中国科学院上海技术物理研究所	7	79	5.0	7.0