ZrO2膜的相结构与显微组织

• 作者: 娄彦良 肖文凯
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锆膜 晶体结构 织构
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 5-6,9
• 页数: 3页
• 分类号: TM281
• 字数: 3294字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2001.01.003

摘要

用X射线衍射和扫描电镜研究了ZrO2膜的晶体结构和显微组织。结果表明ZrO2膜的相结构为立方氧化锆（c-ZrO2），晶粒尺寸细微。发现ZrO2膜中存在具有（111）面织构的柱状晶结构，这种结构可在基片上加负偏压消除。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	娄彦良	华中科技大学材料学院	9	40	4.0	6.0
2	肖文凯		1	1	1.0	1.0