基子厚膜技术的电容式集成压力传感器的感压元件研究

• 作者: 虞学犬 马以武
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 厚膜 电容式 压力传感器 感压元件
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12

摘要

采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件，具有抗干扰能力强，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小，耐腐蚀，耐高温的特点。本文主要介绍其原理、感压元件设计，并对非线性等相关技术及工问题进行了探讨。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马以武	中国科学院合肥智能机制研究所	23	62	5.0	7.0