氯氟烷烃对臭氧层的破坏及有关ODS替代技术

• 作者: 朱家淇
• 来源期刊: 机电元件
• 学科: 工学
• 关键词: 氯氟烷烃 清洗剂 清洗技术 ODS清洗剂替代技术
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与简介
• 页码范围: 31-39
• 页数: 9页
• 分类号: TM505
• 字数: 8381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6133.2001.01.009

摘要

文章概要介绍了淘汰氯氟烷烃的原理,叙述并列举了当今ODS清洗剂有关替代技术及信息,可资电子元器件生产中ODS清洗剂替代工作之参考.