扫描电镜背散射衍射装置及数据处理系统

• 作者: 刘安生 吴志斌 孙丽虹 张希顺 胡广勇 邵贝羚
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 电子背散射衍射 数字图象 Hough变换 扫描电镜
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 仪器长级改造
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TN16
• 字数: 3011字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2001.06.003

摘要

电子背散射衍射装置是获取材料的亚微米的范畴晶体学信息扫描电镜附件,此装置可在观察材料的形貌及分析成分的同时研究材料的取向关系.本文介绍了电子背散射衍射接收系统,该系统的CCD以快速方式接收的灵敏度为5mlux,积累方式接收的灵敏度为10μlux,分辨率为512dpi,扫描卡最高的分辨率为4096X4096.并成功地安装在北京有色金属研究总院JSM-840扫描电镜上.此系统设计合理、结构简单、操作方便安全.同时根据Hough变换的原理,编写了识别电子背散射衍射花样的软件,实现了全自动实时识别此花样,给出相应的数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡广勇		16	57	5.0	6.0
2	刘安生		30	133	6.0	10.0
3	邵贝羚		21	81	6.0	8.0
4	张希顺		14	77	6.0	8.0
5	孙丽虹		17	118	6.0	10.0
6	吴志斌		2	8	2.0	2.0