硅基红外热堆中热电偶尺寸和对数对探测性能的影响

• 作者: 冯明 刘月英 卢建国 朱自强 李志怀 沈德新
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热堆 热电偶 响应率 探测率
• 年，卷（期）: 2001,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1287-1291
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 3666字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.10.013

摘要

分析了多晶硅-金集成热堆中热电偶的尺寸和对数对热堆性能的影响,对非接触红外测温的实用型热堆提出了设计和改进的思路.随着热电偶对数的增加,时间常数减小,响应率增大,探测率出现最大值.减小热电偶的长度可以减小热堆内阻和时间常数.多晶硅横截面积和金横截面积的比值接近最佳比值时,探测率呈最大值3×10scm@Hz1/2@W-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘月英	中国科学院上海冶金研究所	7	83	4.0	7.0
2	沈德新	中国科学院上海冶金研究所	2	7	2.0	2.0
3	李志怀	中国科学院上海冶金研究所	4	13	2.0	3.0
4	冯明	中国科学院上海冶金研究所	4	27	3.0	4.0
5	卢建国	中国科学院上海冶金研究所	1	4	1.0	1.0
6	朱自强	中国科学院上海冶金研究所	2	4	1.0	2.0