RF/DC溅射316L/SiO2复合膜力学性能与显微结构的研究

• 作者: 吴起白 曾鹏 温伟祥 盛忠 盛钢 胡显奇 胡社军 谢光荣 黄拿灿
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: RF/DC溅射 复合薄膜 组织与性能
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 学位论文
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 1988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2001.02.006

摘要

利用射频/直流磁控溅射法制备了316L不锈钢/SiO2复合薄膜，并对其组织、相结构和力学性能进行了测试分析。结果表明：直流磁控溅射316L不锈钢薄膜呈柱状晶结构，主要由Fe-Cr和-Fe相构成，在Fe-Cr(110)晶面出现明显择优取向；由于SiO2的掺合，使316L不锈钢/SiO2复合薄膜柱状晶变细小，出现明显的二次柱状晶，Fe-Cr的(110)晶面择优取向消失，而Fe-Cr的(211)晶面衍射峰强度明显增强，316不锈钢膜硬度明显高于316L块体，掺入SiO2的金属/陶瓷复合薄膜耐磨性有显著的提高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾鹏		64	572	13.0	20.0
2	胡社军		66	842	14.0	26.0
3	谢光荣		82	729	14.0	23.0
4	黄拿灿		48	688	14.0	24.0
5	吴起白		28	190	9.0	12.0
6	胡显奇		11	232	5.0	11.0
7	盛钢		6	145	3.0	6.0
8	温伟祥		5	11	2.0	2.0
9	盛忠		2	3	1.0	1.0