半导体工业中机械化学抛光用的大规格Al2O3抛光台

• 作者: 万冬梅 周耀
• 来源期刊: 佛山陶瓷
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 新技术新产品
• 页码范围: 42
• 页数: 1页
• 分类号: TG17
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8236.2001.05.016

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万冬梅	佛山市陶瓷研究所科研室	5	40	1.0	5.0
2	周耀	佛山市陶瓷研究所科研室	9	17	2.0	3.0