氮化钛薄膜的制备及其机械性能的研究

• 作者: 刘谦祥 李德军
• 来源期刊: 天津师范大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 氮化钛 机械性能
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: TP383
• 字数: 2389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1114.2001.01.005

摘要

氮化钛（TiN）薄膜独特的性能不仅在机械工业和商品的表面装饰行业上有着广泛的应用，而且在临床制品及人工器官领域也展示了潜在的应用前景.研究利用大功率偏压电源的多弧离子镀技术，采用工具镀工艺，在Ti-6Al-4V合金材料表面制备了TiN薄膜.用X射线光电子能谱检测证明了所制备的薄膜确为TiN.机械性能测试表明：具有TiN涂层样品的显微硬度大大高于Ti合金基材，同时耐磨性能也明显得到改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘谦祥	天津师范大学物理系	9	57	4.0	7.0
2	李德军	天津师范大学物理系	73	242	7.0	11.0