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Sensing Characteristics of A Precision Aligner Using Moire Gratings for Precision Alignment System
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中国光学快报(英文版)
主办单位：
中国光学学会
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1671-7694
CN：
31-1890/O3
开本：
大16开
出版地：
上海市嘉定区清河路390号（上海800-211信箱）
邮发代号：
4-644
创刊时间：
2003
语种：
eng
出版文献量（篇）
5566
总下载数（次）
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