反渗透法制取电子级超纯水工艺的改进

• 作者: 胡伟林
• 来源期刊: 水处理技术
• 学科: 工学
• 关键词: 反渗透 真空膜脱气 混床 实用
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 296-299
• 页数: 4页
• 分类号: TQ028.8
• 字数: 3732字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3770.2001.05.015

摘要

在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透+N2配合真空膜脱气+三级混床的工艺属当今最新开发的工艺,在大型系统中应用很少,我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进,最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑、出水量大、品质高等特点的水系统很成功地稳定运行,解决了工艺流程中的缺陷和不足,并且很好地控制了运行成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡伟林		2	24	2.0	2.0