毛细管电泳芯片的制造

• 作者: 冯焱颖 叶雄英 周兆英 汤扬华 金亚
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法刻蚀 键合 毛细管电泳芯片
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 62-66
• 页数: 5页
• 分类号: TN271+.4
• 字数: 1955字
• 语种: 中文

摘要

研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃-玻璃键合技术：讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合，键合温度为620℃，得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的0.44倍。在电泳芯片上实现了样品的分离。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精仪系	205	3706	31.0	54.0
2	金亚	清华大学精仪系	10	243	8.0	10.0
3	叶雄英	清华大学精仪系	62	1070	15.0	31.0
4	冯焱颖	清华大学精仪系	16	348	7.0	16.0
5	汤扬华	清华大学精仪系	9	312	6.0	9.0