微电子机械系统中微尺度热物性研究进展

• 作者: 余隽 唐祯安 魏广芬
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微尺度 薄膜 热物性参数 微电子机械系统
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 所属期刊栏目: 微流动,微传热及生物芯片
• 页码范围: 465-470
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.015

摘要

微电子机械系统(MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统.MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直至纳米量级.由于微尺度效应,薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数(如比热、热导率、热扩散率等)与常规材料显著不同.设计MEMS时必须充分考虑微尺度效应,并使用合理的热物性参数值,才能保证微电子机械系统的热稳定性.本文从理论建模、实验测试和计算机模拟三个方面总结了近年来微尺度薄膜热物性的研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子工程系	142	1281	17.0	29.0
2	魏广芬	大连理工大学电子工程系	14	159	5.0	12.0
3	余隽	大连理工大学电子工程系	37	252	7.0	14.0