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脉冲离子束流聚焦装置的研制
脉冲离子束流
限束
透镜
聚焦
离子束增强沉积技术
离子束增强
铜膜
离子源
用于双离子束注入器的杂质消除系统
注入器
双离子束
杂质
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 利用离子束制成纳米尺寸的构件
来源期刊 物理 学科 物理学
关键词
年,卷(期) 2001,(10) 所属期刊栏目 前沿和动态
研究方向 页码范围 595
页数 1页 分类号 O4
字数 782字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0379-4148.2001.10.017
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期刊影响力
物理
月刊
0379-4148
11-1957/O4
大16开
北京603信箱
2-805
1951
chi
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4702
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20
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