SOI技术的机遇和挑战

• 作者: 张兴 张天义 徐文华 汪红梅
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: SOI技术 CMOS 集成电路
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 72-78
• 页数: 7页
• 分类号: TN43
• 字数: 5843字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2001.01.012

摘要

本文较为系统地描述了SOI技术的特点，分析了SOI技术中存在的问题和发展的潜力，最后得出了SOI技术将在特征尺寸小于0.1 μm、电源电压小于1 V的新一代集成电路技术中得到广泛应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兴	北京大学微电子学研究所	120	618	12.0	20.0
2	徐文华	北京大学微电子学研究所	2	11	1.0	2.0
3	张天义	北京大学微电子学研究所	5	21	3.0	4.0
4	汪红梅	北京大学微电子学研究所	1	11	1.0	1.0