大口径非球面精磨表面形状检测技术研究

• 作者: 伍凡 吴时彬 唐健冠
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: zernike多项式 最小二乘法 波面 局部插值法
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 509-511
• 页数: 3页
• 分类号: TH706
• 字数: 2127字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2001.06.025

摘要

介绍了一种大相对口径非球面精磨阶段面形的测量方法原理及实现其功能的软件设计.利用机械接触式装置,通过长导轨及其光栅探头的高度变化来直接测量非球面的矢高,并把所测得的三维数据传输给计算机.经数据修正和预处理,通过MATLAB软件计算得到整个镜子的面形特征参数.其结果用来指导大口径非球面的精磨加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴时彬	中国科学院光电技术研究所	52	587	16.0	22.0
2	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
3	唐健冠	中国科学院光电技术研究所	1	43	1.0	1.0