EACVD中基片表面电子及氢原子能量分布

• 作者: 张玉红 董丽芳 陈俊英
• 来源期刊: 河北大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 蒙特卡罗模拟 化学气相沉积 氢分解
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: O53
• 字数: 1701字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2001.01.008

摘要

采用Monte Carlo方法，模拟了EACVD淀积金刚石薄膜中氢分解过程 .建立了电子碰撞使氢分解的模型，给出了在基片表面电子及氢原子的能量分布.结果对EACVD淀积金刚石 薄膜的研究有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董丽芳	河北大学物理科学与技术学院	183	836	17.0	22.0
2	陈俊英	河北大学物理科学与技术学院	12	41	4.0	6.0
3	张玉红	河北大学物理科学与技术学院	2	0	0.0	0.0