面向21世纪的酸增殖辐射固化与成像技术

• 作者: 余尚先 童晓 顾江楠
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 酸增殖辐射固化辐射成像化学增幅抗蚀剂计算机直接制版(CTP)
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TQ57
• 字数: 2141字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2001.01.004

摘要

介绍了市村国宏教授率先在20世纪90年代末期提出的酸增殖(Acidproliferation)、酸增殖源、酸增殖型光致抗蚀剂等新概念，列出了几种有用的酸增殖源及它们酸致产酸发生增殖反应的机理，讨论了酸增殖源在光致抗蚀剂(特别是化学增幅抗蚀剂)和计算机直接制版(CTP)技术等方面的应用，说明这是一项在21世纪有发展前景的成像技术——信息记录技术。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余尚先	北京师范大学化学系	39	145	7.0	9.0
2	童晓	北京师范大学化学系	4	17	3.0	4.0
3	顾江楠	北京师范大学化学系	14	50	5.0	6.0