Effect of Annealing Temperature on the Formation of Silicides and the Surface Morphologies of PtSi Films

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篇名	Effect of Annealing Temperature on the Formation of Silicides and the Surface Morphologies of PtSi Films
来源期刊	材料科学技术学报(英文版)	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2001,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	39-40
页数	2页	分类号	TB3
字数		语种	英文
DOI	10.3321/j.issn:1005-0302.2001.01.020

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