硅加速度计系统设计技术

• 作者: 彭勃 王璐 陈雪冬
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅加速度计 系统设计
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 页码范围: 59-63
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2001.01.012

摘要

介绍了力平衡式硅加速度计的设计，勾画了MEMS产品的一般设计思路和方法.微结构与电子线路这两个相互依存的设计部分的有效结合保证了整个系统的最终性能与特性.因此，系统的考虑和兼顾的设计正是一个机电混合系统的设计准则.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭勃	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	115	6.0	10.0
2	陈雪冬	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	66	5.0	7.0
3	王璐	中国工程物理研究院电子工程研究所	1	10	1.0	1.0