SOI—21世纪的硅集成电路技术

• 作者: 张廷庆
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 绝缘衬底 硅集成电路技术 SOI
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TN405

摘要

本文扼要介绍SOI材料的制备技术、SOI的优越性以及SOI的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张廷庆		9	26	1.0	5.0