提拉法生长单晶工艺中扩肩阶段实行自动控制的研究

• 作者: 周志强 康平 张振志 成肇安 杜小红
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 提拉法 自动扩肩 上"浮秤” 优化设计 逆向模拟
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 393-397
• 页数: 5页
• 分类号: O782
• 字数: 2660字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2001.04.014

摘要

在用提拉法(Czochralski)生长钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)单晶的实践中,通过对上"浮秤”模拟体的优化设计,成功实现了扩肩工艺阶段的自动控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成肇安		6	37	2.0	6.0
2	周志强		2	24	1.0	2.0
3	张振志		2	24	1.0	2.0
4	康平		2	24	1.0	2.0
5	杜小红		2	24	1.0	2.0