蒙特卡罗法模拟新型扫描电镜的工作原理

• 作者: 李承斌 蒋昌忠
• 来源期刊: 计算物理
• 学科: 工学
• 关键词: 蒙特卡罗方法 模拟计算程序 扫描电子显微镜 背散射电子
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 470-472
• 页数: 3页
• 分类号: TN16
• 字数: 2266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-246X.2001.05.018

摘要

根据新型分析扫描电子显微镜的工作原理及载能电子束和固体相互作用原理,利用蒙特卡罗方法模拟入射电子和靶物质的相互作用过程,编制了蒙特卡罗模拟计算程序,获得了对应不同电镜工作参数的入射电子背散射率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋昌忠	武汉大学物理科学与技术学院	43	191	9.0	11.0
2	李承斌	武汉大学物理科学与技术学院	3	7	2.0	2.0