彩色PDP光刻工艺的优化理论和设计

• 作者: 刘忠安
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有效时差 光刻工艺 彩色等离子体显示器 优化
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 217-219
• 页数: 3页
• 分类号: TN141.5
• 字数: 1957字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2001.03.011

摘要

提出了用有效时差优化彩色PDP光刻工艺参数的理论和优化设计方法，并用实例说明了该理论的实用性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘忠安	南京电子器件研究所国家平板显示工程技术研究中心	5	37	3.0	5.0