电子元器件中的薄膜新技术

• 作者: 严一心
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束辅助蒸发 非平衡磁控溅射 电子元器件 薄膜
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TN304.055

摘要

本文介绍了用于电子元器件镀膜的两种新的镀膜技术：离子束辅助蒸发镀膜及非平衡磁控溅射镀膜。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严一心		43	232	9.0	12.0