有机薄膜电致发光器件工艺检测的一种简便方法——覆膜加热观测法

• 作者: 何钧 侯晓远 周美娟 廖良生
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有机薄膜 热处理 表面形貌 工艺检测
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 125-130
• 页数: 6页
• 分类号: TN873.3
• 字数: 2613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2001.02.007

摘要

提出了一种简便易行、并与有机薄膜电致发光器件制备工艺完全兼容的工艺检测方法——覆膜加热观测法。这种方法是在器件的制备工艺过程中，同时在铟锡氧化物(ITO)电极和各层有机薄膜上覆盖一层不透气的薄膜(如金属Al膜等)，接着进行快速加热，最后对器件表面进行形貌观测。采用这种方法，观察了器件表面气泡的形成过程，观察了加热温度、ITO表面处理以及有机物纯度对气泡形成的影响。实验表明，覆膜加热观测法能有效地对工艺进行对比检测，从而达到改进工艺、提高器件质量的目的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯晓远	复旦大学物理系	14	86	4.0	9.0
2	廖良生	复旦大学物理系	4	25	1.0	4.0
3	何钧	复旦大学物理系	3	12	1.0	3.0
4	周美娟	复旦大学物理系	2	1	1.0	1.0